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型号
FSF-400/3600
抽气速率（l/s）
3600L/S
压缩比N2
>108
压缩比H2
>5×102
极限压强(Pa)
<2×10-6
高真空法兰
400ISO-K
排气口法兰
100ISO-K
启动加速时（min）
<10min
电机转速（n/min）
12600n/min
最小不平衡（mg）
15mg
建议采用前级泵
机械泵30L/S
充油量（ml）
/
安装方式
垂直±5°
冷却方式
水冷
冷却水温度
<20℃
环境使用温度（℃）
水冷<40℃
泵体烘烤温度（℃）
<100℃
泵重量（kg）
100kg
外形尺寸（mm）
Φ430×490
